

原理:氣流方向統(tǒng)一、平行,自上而下垂直推送,像活塞一樣直接把顆粒推走,污染快速排出,不容易形成渦流死角適用潔凈等級:ISO?4、ISO?5(百級)
適合車間 / 工序1、CAM 光刻區(qū)、芯片勻膠曝光工位2、醫(yī)藥無菌灌裝、敞口無菌操作區(qū)3、干細(xì)胞核心制備操作臺4、光學(xué)、半導(dǎo)體高精度貼合鍵合工位5、對浮塵極其敏感、產(chǎn)品裸露不能落塵的區(qū)域
垂直層流:吊頂滿布 FFU/ULPA 高效過濾器,高架地板或者下部回風(fēng)水平層流:狹長高潔凈流水線,用得比較少
缺點:造價高、層高要求高、能耗大、吊頂荷載高
原理:多個送風(fēng)口送入潔凈空氣,和室內(nèi)空氣充分混合、稀釋污染物,再從回風(fēng)口排走,依靠換氣次數(shù)控制顆粒濃度適用潔凈等級:ISO?6、ISO?7、ISO?8(千級、萬級、十萬級)
適合車間 / 工序1、封裝組裝、成品探針測試、普通模組裝配2、更衣、風(fēng)淋、緩沖廊道、物料暫存間3、日化配制、灌裝后段、外包裝潔凈區(qū)4、理化實驗室、普通質(zhì)檢間、清洗間5、大部分中低等級生產(chǎn)輔助潔凈房間
優(yōu)點:造價適中、改造靈活,適合大面積車間
車間大空間整體采用亂流(ISO?7/8),關(guān)鍵工位上方加裝 FFU 局部垂直層流,局部達(dá)到 ISO?5 百級。CAM 車間非常推薦:整個封裝房間萬級亂流,光刻、精密鍵合工位做ju部層流,平衡成本和潔凈指標(biāo)。
ISO5 及以上高精密敞口工藝 → 層流單向流
ISO6?8 常規(guī)生產(chǎn)、輔助區(qū) → 亂流非單向流- 大面積車間,只有少數(shù)工位要求百級 → 整體亂流 + 局部層流






